术参数:
检测气体:复合气体(硅烷SiH4、三氟化硼BF3、硫化氢H2S、乙硼烷B2H6、一氧化氮NO、三氟化氮NF3、氨气NH3、三氯氢硅SiHCL3),选配:可检测任意6种气体浓度和温湿度
检测范围:SiH4(0-50ppm)、BF3(0~100ppm)、H2S(0~100ppm)、B2H6(0~50ppm)、NO(0~100ppm)、NF3(0~50ppm)、NH3(0-100ppm)、SiHCL3(0~50ppm),其他量程可订制
分 辨 率:0.01PPM,更高分辨率可订制
检测原理:电化学检测原理
,根据气体、量程、现场环境和用户需求而定
检测方式:内置泵吸式,流量800毫升/分钟
显示方式:3.5寸320X240分辨率的大屏幕高
服务热线:15558056293 QQ:690241594
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